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電子束雕刻機的基本結構和操作順序
打印】發(fā)布日期:【2013-1-7】
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      電子束雕刻法,1976年原聯(lián)邦德國赫爾公司推出電子束雕刻機。1.電子束雕刻機的基本結構,電子束雕刻機的機架是一個鑄鐵床座,它與同長度的真空箱構成一個滾筒加工室。該室中有兩個軸承座,它們通過絲杠由步進電機驅(qū)動,相互獨立地順著機器的長度方向運動。 軸承座有兩個輔助裝置,在機器裝上滾筒后自動夾 緊。軸承座有一臺大功率的電機驅(qū)動滾筒,滾筒速度根據(jù)滾筒直徑大小而定,一般在。當滾筒雕刻時,電子束槍固定不動,而滾筒在電子束槍前作左右移動。電子束槍裝在機器中間的加工室后部,穿過真空箱罩。電子束槍與滾筒遠近的距離 是由一只步進電機驅(qū)動。電子束雕刻機還有控制電子束槍和機器的電子柜、高壓發(fā)生器和真空泵等部分。 雕刻過程將雕刻的凹版滾筒裝到打開蓋的定心裝置上,將滾筒軸定心到軸承座的軸線上。其他步驟由多個微型計算機控制自動進行,其操作順序是:①關閉真空室的箱蓋;②夾緊滾筒;③真空泵抽氣使電子束槍加工室內(nèi)產(chǎn)生真空;④使?jié)L筒轉(zhuǎn)動,在滾筒的起始端進行雕刻的起始定位;⑤接通并調(diào)定電子束; ⑥開始雕刻。控制和調(diào)節(jié)過程大部分時間是并行的,到雕刻起始需要。一個長度周長的滾筒,雕刻時間為。另一個長度相同而周長的滾筒雕刻時間為22。雕刻時只有雕刻滾筒轉(zhuǎn)動及橫移,電子束槍固定不動。雕刻完畢,電子束自動切斷,滾筒被剎住,加工室充氣,最后滾筒被松開。雕刻一只滾筒,整個準備時間不到15,由此可見,可雕刻2只滾筒。在用電子束進行雕刻時,高能量的電子束深人銅層約#01,并在原子場內(nèi)被剎住。它 把所有的運動能傳遞給了銅,于是產(chǎn)生了過熱銅熔液。在電子束中生成的等離子體壓力,將銅熔液從側(cè)面擠出熔融區(qū)。每秒20〜30111的滾筒圓周速度將熔液以滴狀的形式沿切線拋出旋轉(zhuǎn)的滾筒。微小的銅滴在真空中飛行,只稍冷卻一點,仍以熔融狀態(tài)碰撞到調(diào)換的反射板上,變成了銅渣。電子束沖擊后,點穴里的熔化區(qū)在熔銅表面張力的作用下重結晶,形成一個光滑面,點穴形狀呈半球面形。新型典型設備如瑞士:公司的!它不用鍍銅滾筒,而是在滾筒表面鍍鋅合金,用激光,以3500002的高速進行加工,還可采用7000092的激光頭,速度比普通雕刻機400092快17.5倍。激光束射向鍍鋅層表面,使其部分熔化成液滴,部分汽化成金屬蒸氣而逸出。激光雕刻完成后,剩余的氧化鋅被刮刀去除掉,形成網(wǎng)穴,其網(wǎng)穴屬于凹下深度可變、網(wǎng)穴開口面積不變的類型。這種方法的缺點是在滾筒表面鍍鋅合金所耗費的時間是表面鍍銅的2倍,而且不能再在其上鍍鉻。 電子束雕刻技術的優(yōu)點 ①電子束雕刻速度高〔10〜15萬個網(wǎng)格八),易于調(diào)制和偏轉(zhuǎn)。②電子束在射擊間與快速旋轉(zhuǎn)的滾筒同步運動,即在射擊點穴時電子束始終在滾筒的同一位置上。③電子束能雕刻任意線數(shù)和網(wǎng)線角度。④采用特殊的電子束雕刻網(wǎng)點裝置,使輪廓的再現(xiàn)有了明顯的改善,這對文字和線條的復制非常重要。⑤生產(chǎn)效率與電子雕刻比較提高1〜2倍。⑥電子束雕刻所產(chǎn)生的網(wǎng)格形狀為半球形,當高熱的銅熔化后,汽化銅被等離子壓擠出網(wǎng)格,再結晶的表面厚度不到4111。因此網(wǎng)格內(nèi)壁光滑,網(wǎng)墻無缺陷,利于在高速印刷情況下,實現(xiàn)非常好的油墨轉(zhuǎn)移。

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